半导体行业

使用Foamtec久经验证的清洁系统(PneuSCRUB™)，最大化FPD真空腔室设备运行时间与维护效率

随着平板显示器(FPD)制造技术向8.5代、10.5代及更高世代演进，真空腔室尺寸呈指数级增长，这使得常规预防性维护(PM)变得比以往任何时候都更加耗时耗力。因此工程师们面临着在不影响清洁标准的前提下减少设备停机时间的双重压力。

Foamtec的PneuSCRUB™系统已在先进制程（10nm以下）晶圆厂广泛部署，为薄膜沉积和蚀刻工艺使用的大型真空腔室清洁提供了一套经过验证、符合人体工学的高效解决方案。

大型腔体，更大挑战

用于PECVD、ALD和溅射沉积的次世代FPD真空腔室，其宽度和深度可达数米量级。在生产过程中会积聚：

• 高温烘烤形成的制成副产物

• 氧化膜层与顽固残留物

• 角落区域的历史沉积物及不均匀气流区残留

传统手持式研磨清洁方式常导致：

• 维护周期延长

• 操作人员疲劳累积

• 清洁效果不一致及维护后颗粒数超标

PneuSCRUB™系统核心优势

这款洁净室级气动轨道清洁工具，可搭配Foamtec特制魔术贴背胶金刚砂清洁垫（140-1350目）使用。已在全球顶尖半导体晶圆厂验证的PneuSCRUB™，现将其卓越的清洁精度与效率延伸至大面积FPD设备维护领域。

工程师选择PneuSCRUB™的四大理由：

✅ 维护时间缩短50%以上

用户实测表明，系统能在保证残留物清除效果的前提下，实现大面积表面的快速均一化清洁

✅ 提升维护后腔体洁净度

配合MiraWIPE超细纤维擦拭布与UltraSOLV海绵使用，可有效降低颗粒物数量，加速腔体恢复生产

✅ 显著改善人体工学设计

告别数小时的手动擦洗。随机轨道运动配合符合人体工学的握柄设计，降低技术人员疲劳度，提升操作可重复性

✅ 高端制造环境实战验证

同款技术已在多个10nm以下制程晶圆厂标准化应用，这些对设备稼动率、颗粒控制和工艺稳定性有严苛要求的场景充分验证了系统可靠性

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典型应用案例：FPD真空腔室清洁

在运行8.5代/10.5代腔体的FPD工厂中，PneuSCRUB™可实现：

• 高效清洁屏蔽罩表面、面板载具、腔壁及狭缝阀

• 快速去除抗溶剂型顽固残留

• 全面兼容湿法/干法清洁SOP，完美适配CVD、PVD、ALD全产线

FPD领域用户反馈显示，系统显著降低了维护人工成本，并提升了不同班组、技术人员间的操作一致性与结果可重复性。

与Foamtec完整清洁系统协同增效

工程师通过以下组合方案获得最优效果：

• UltraSOLV海绵 - 精准控量溶剂输送，零滴漏设计

• 钻石清洁垫 – 无尘室兼容型研磨工具，应对深度清洁挑战

• MiraWIPE超细纤维擦拭布 - 高效去除颗粒物并实现腔体干燥

该集成解决方案为高产能显示面板工厂提供了可重复、污染可控的标准维护流程。

提升维护效率 | 保障产能输出 | 增强制程信心 随着FPD腔体尺寸的持续扩大，传统人工清洁方式已无法满足需求。采用Foamtec PneuSCRUB™系统，工程师可精准掌控维护时间、保持设备洁净度、提升设备稼动率——这一切都建立在先进晶圆厂已验证的技术基础之上。

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